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質量流量控制器,流量計/控制器和壓力控制器廣泛應用于氣相色譜、分析設備、材料設備、生物醫藥、半導體等領域。 G300C 系列流量控制器可根據客戶需求定制,更加適用于客戶使用環境。
21 系列 標準型質量流量控制器 層流差壓原理 非抗腐蝕 量程 0.5 SCCM - 6000 SLPM,優于 1 % 的精度,控制范圍廣,優于 100 ms 響應時間
數字式質量流量控制器適用于多種不同的產業應用。可實現大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式(數字式/模擬式, CC-Link®, PROFIBUS™, 以及 EtherCAT®),高精度(± 1.0% S.P. *1),快速響應。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能,減少客戶成本。
TEL:010-64801878